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完整性泡點(diǎn)孔徑測試儀泡點(diǎn)測試依據的原理是怎樣的?

更新時(shí)間:2022-01-13      瀏覽次數:3146
  完整性泡點(diǎn)孔徑測試儀采用常用的全自動(dòng)數字進(jìn)氣控制子系統,摒棄了國內落后的機械半自動(dòng)進(jìn)氣方式(即手動(dòng)調節單向節流閥改變氣體流量),使測試儀能夠在不同的氣源壓力和測試條件下工作穩定可靠,特別是當客戶(hù)使用的氣源壓力波動(dòng)較大時(shí),儀器具有自動(dòng)穩定和數字控制技術(shù),確保測試結果的準確性和準確性。
  由于毛細作用,潤濕液停留在膜的多孔通道中,這種毛細作用隨著(zhù)孔徑的減小而增加。取決于膜孔徑的氣體壓力迫使液體流出孔。此時(shí)的壓力稱(chēng)為“泡點(diǎn)”或簡(jiǎn)稱(chēng)BP。液體會(huì )從膜上的大孔徑中流出。因此,濾芯的BP值還與膜材料的表面張力有關(guān)(潤濕角因材料不同而異),尤其是潤濕液。低表面張力液體,如有機溶劑、洗滌劑和乳化劑,其BP值較低。BP值還與潤濕介質(zhì)的溫度有關(guān)。完整性泡點(diǎn)孔徑測試儀泡點(diǎn)測試法特別適用于晶圓薄膜的完整性測試。

 

完整性泡點(diǎn)孔徑測試儀
 

 

  當樣品高壓側的氣體壓力大于樣品膜孔中的毛細壓力和表面張力時(shí),它會(huì )從樣品的另一側釋放,壓緊孔隙中的潤濕液通過(guò)氣體壓力排出到樣品的低壓側。此時(shí)試樣高壓側的壓力被認為是泡點(diǎn)壓力,此時(shí)的現象應該是試樣中出現一系列連續的氣泡。
  完整性泡點(diǎn)孔徑測試儀在進(jìn)行完整性測試之前,必須確保測試過(guò)濾材料已被*浸泡。人工滲透的方法一般如下:將濾料放入滲透液中充分浸泡20分鐘左右,每隔3分鐘提起一次濾料以消除氣泡,使大氣壓水力滲入膜孔。產(chǎn)品潤濕液不是指水,也不是產(chǎn)品或工藝流體,而是指溶劑。產(chǎn)品潤濕后,同一濾材的完整性測試結果可能會(huì )有所不同。造成它們不同的原因是潤濕液的表面張力系數不同。測試氣體在擴散流中的溶解度和擴散能力也會(huì )造成測試結果的不一致。對于該系統,推薦的浸泡溶液是碳氟化合物、無(wú)水乙醇或60%異丙醇和水的混合物。由于界面張力的分子重力,潤濕液被牢牢鎖在濾料的微孔間隙中。
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